电喷雾离子束可控沉积系统　　招标公告

发布者：高海燕发布时间：2025-07-04

原定于2025年7月10日9：00招标的“电喷雾离子束可控沉积系统”项目（项目编号：S******）因报名的供应商不足三家，现重新发布招标公告，欢迎具备相应资质和实力的供应商参加

一、项目名称：电喷雾离子束可控沉积系统

二、招标编号：S******A

******管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021　　　　　　　传真：0512-******

联系人：丁老师　　　　　　  电话：0512-******，******

电子邮箱：******

技术联系人：尤老师　　　　  电话：******

电子邮箱：******

四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求

电喷雾离子束可控沉积系统　　1套

该系统适用于表面科学研究，主要用于在超高真空（UHV）中实现质量选择的有机分子软着陆。

（一）主要技术参数及配置要求

1.ESI源

1.1注射泵

1.1.1发射器：由熔融石英管制成，外径360 μm

1.1.2液体接触部分：不锈钢连接器

1.1.3纳喷雾发射器

1.1.4兼容PEEK管：用于输送分析物溶液，所有接触液体的部件由不锈钢、PEEK或熔融石英制成

1.2保护气单元（与发射器同轴）：通过外部气源供气，气压可控

1.3封闭外壳：带集成观察窗

1.4手动三维调节发射器位置：从外壳外部操作

1.5转移毛细管：从常压环境到真空

1.6可控的转移毛细管加热：最高200℃

1.6.1转移毛细管电势：最大±400 V

1.6.2手动开启：用于停止通过转移毛细管的束流

1.7摄像头：用于发射器定位和观察ESI喷雾

1.8电子控制系统

1.8.1注射泵控制

1.8.2发射器高压源：可调±1-5 kV，最大电流200 μA

1.8.3转移毛细管高压源：可调±400 V，最大电流200 μA

1.8.4转移毛细管加热控制器（适用于K型热电偶）

2.离子传输至UHV

2.1闸板阀：用于保护UHV

2.2三个差分抽气区段

2.2.1区段1

2.2.1.1 KF40法兰连接真空泵

2.2.1.2手动驱动阀（KF40法兰），用于隔离真空泵

2.2.1.3无油真空泵，极限真空<5 mbar  

2.2.1.4备用真空泵法兰

2.2.1.5膜式备用真空泵，极限真空<2 mbar  

2.2.1.6真空计法兰

2.2.1.7热传导真空计，测量范围1000 mbar – 1×10?3 mbar或更优

2.2.1.8射频堆叠环离子导引装置：用于聚焦和引导离子

集成连续直流场轴

场轴末端通常接近0 V  

2.2.1.9电子元件转接法兰

2.2.1.10区段1数字射频电子系统

最大频率≥10 MHz  

最大方波电压≥100 Vpp

最大功率≥100 W  

场轴梯度可调，最高±400 V  

2.2.2区段2

2.2.2.1涡轮分子泵连接法兰，分子泵极限真空<5×10?3 mbar  

2.2.2.2真空计固定法兰

2.2.2.3热传导真空计，测量范围1000 mbar – 1×10?3 mbar或更优

2.2.2.4射频多极离子导引装置：用于传输离子

2.2.2.5电子元件安装法兰

2.2.2.6区段2数字射频电子系统

最大频率≥10 MHz  

最大方波电压≥100 Vpp

最大功率≥100 W  

场轴可调，最高±400 V  

集成pA表

软件控制两种模式切换：“束流引导”与“束流监测”

2.2.3区段3

2.2.3.1涡轮分子泵法兰，极限真空<1×10?? mbar  

2.2.3.2真空计法兰（热传导+冷阴极），测量范围1000 mbar – 10?? mbar或更优

2.2.3.3射频多极离子导引装置：用于传输离子

2.2.3.4电子元件安装法兰

2.2.3.5区段3数字射频电子系统

最大频率≥10 MHz  

最大方波电压≥100 Vpp  

最大功率≥100 W  

场轴可调，最高±400 V  

集成pA表

软件控制两种模式切换：“束流引导”与“束流监测”

3. UHV腔体（含质量选择与软着陆）

3.1可通过CF100法兰连接至现有制备腔

3.2样品沉积位置距法兰表面约175 mm  

3.3四极杆质谱过滤器（QMF）

3.3.1四极杆质量过滤系统

3.3.2杆直径20 mm  

3.3.3前置与后置杆系统

3.4软着陆聚焦单元

锥形射频多极装置

3.5数字四极杆质量过滤器（dQMF）射频电子系统

3.5.1最大频率2 MHz（方波，上升时间<35 ns）

3.5.2输出电压≥1800 Vpp  

3.5.3最大功率≥800 W  

3.5.4场轴可调±150 V或更优

3.6聚焦单元数字射频电子系统

3.6.1最大频率≥10 MHz  

3.6.2最大方波电压≥100 Vpp

3.6.3最大功率≥100 W  

3.6.4场轴可调，最高±400 V  

3.6.5集成pA表

3.6.6软件控制两种模式切换：“束流引导”与“束流监测”

3.7探测器

3.7.1沉积过程中监测样品束流

3.7.2可测量浮动电势（最高±400 V）

3.7.3分辨率≤0.1 pA或更优

3.8可移动聚焦单元离子出口（相对于制备腔）

3.8.1沿离子束轴向行程≥40 mm

（二）验收指标要求

1.制备腔真空（沉积源门打开）<1×10?? mbar  

测试条件：制备腔连接抽速≥220 L/s的真空泵、区段1-3泵启动后≥3小时、区段1-3与UHV腔间闸阀打开后≥30分钟

2. dQMF分辨率≥150 m/?m（半高宽）

3. 离子束强度≥100 pA（通过聚焦单元后）

4. 离子路径长度<120 cm  

（三）服务要求

1提供现场免费安装、调试，进行操作试验，直至运行正常并出具检验证明；

2提供两名仪器操作人员免费线上操作及维护培训，并在每年组织不定期的设备升级与培训；

3仪器设备的免费保修期不少于1年，在保修期内，供货商在接到用户维修要求时，应在48小时之内给予答复，并派出维修人员在一周内到达用户现场进行维修服务。

五、投标单位资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体投标。

六、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审（加分）：

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔2022〕45号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。

******管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。

注：

①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。

②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，按“政府采购法”相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。

（二）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

投标人需提供反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，否则视为偏离。

******委员会评审可作为无效投标。

（2）所投标产品不满足招标文件技术要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣3分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所投产品的市场反馈情况（9分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

（三）价格分（35分）

1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分；

2．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。

（四）综合商务（15分）

1．投标人综合实力（2分）

根据投标人综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（6分）。

根据投标文件的相关承诺，在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

******委员会认可的优惠措施综合评定。

七、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

八、投标文件的组成

（一）投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

特别说明：

1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

2、“投标文件一”，正本一份，副本一份

“投标文件二”，正本一份，副本五份

3、相关材料及填写规范按照******大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照******大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、招标文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、各投标人在投标前，须认真阅读******大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2025年7月21日12：00前将报名函（格式见附件4）发送邮件至采购人处（******）。

十二、递交投标文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

1.寄达时间：2025年7月25日9:00前；

2.收件人信息：

收件人：丁老师

联系方式：******

******管理中心）

（二）现场递交方式

1.递交时间：2025年7月25日8:30～9:00

******大学东校区东大门

十三、投标截止时间：2025年7月25日9:00。

十四、开标时间：2025年7月25日9:00。

　　招标附件.zip